消除平场扫描镜(F-Theta)的后反点的不利影响

　　激光打标是激光技术的一个重要的应用领域，它与传统的刻蚀、机刻等打标方式相比，有许多优点，如无污染、分辨率高、非接触及标记永久保持等。激光束到达工件表面的瞬间，光能转换为热能，使工件表面材料熔融甚至汽化，从而标刻出相应的图案或标记。
　　激光打标机的工作原理如图1所示，激光器发出的高能量激光束依次经过动方向互相垂直的X和Y扫描振镜，入射到F-Theta物镜，由F-Theta后到达工件表面。通过转动X和Y扫描振镜，可以控制激光束在工件表面的X和Y两个方向上任意移动，实现矢量打标。振镜式激光打标具有响应速度快、打标速度快、打标质量高等许多优点。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　图1:激光打标机工作原理图
　　与普通成像物镜不同，F-Theta镜头的像高与视场角成正比。如图2所示镜头的视场角、焦距和像高满足下式所示的关系：

　　式中θ、f、y分别表示F-Theta镜头的视场角、焦距和像高。表示当F-Theta焦距一定时，像高y与视场角θ成正比，满足线性关系。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　图2:F-Theta镜头原理图
　　为满足式（1-1）的线性扫描关系，同时校正F-Theta镜头的像差，往往需要多个透镜合理布局；激光在透镜表面的后反射点（图3-图6）能量高度集中，随着工业使用中激光功率的不断提升，如果后反射点聚焦在XY振镜片上，会烧蚀振镜片的反射膜层，造成系统透过率的大幅降低；如果后反射点聚焦在扫描镜内部镜片上（图6），造成明显的热透镜效应，该透镜折射率随着能量的积聚发生变化，直接改变扫描镜的工作距离，反映为标记光斑变大、标记颜色变浅甚至无法标记。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　图3:后反射点示意1

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　图4:后反射点示意2

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　图5:后反射点示意3

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　图6:后反射点示意4
　　综上在设计F-theta平场扫描镜时要仔细排查每个镜片表面的后反射点，通过改变镜片的曲率半径尽量消除后反射点的不利影响。